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用于对单晶硅太阳能电池用硅片通过化学腐蚀形成“金字塔”绒面并进行清洗、烘干处理。

1.兼容M6-M10-G12尺寸硅片;
2.工艺槽大流量循环量、多道鼓泡均可调节;
3.采用小体积内外槽及在线加热方式，保证温度、药液均匀性;
4.制绒后金字塔绒面均匀，腐蚀量深度反射率可调;
5.可实现快速换液、在线换液;
6.产能:≥9600片/小时，400pcs/槽；≥12000片/小时，600pcs/槽;