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链式去PSG清洗机&去绕镀清洗机
产品说明:
用于对N型单晶硅太阳能电池用硅片退火后,通过链式传送方式去除单面PSG后再通过槽式方式进行化学腐蚀去绕镀及PSG&BSG并进行高效清洗、烘干处理。
产品优势:
1.采用182传动6+6和210传动5+5兼容结构设计,提高设备稳定性,扰动和变形小,维护方便;
2.定制刻蚀槽带液滚轮,去除干净、减少过刻;
3.水洗采用浸泡+喷淋+纯水喷淋方式,清洗干净;
4.产能:≥9600片/小时,10道400pcs/槽;≥11000片/小时,10道464pcs/槽,兼容210&182;
高稼动率
高兼容
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