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N형 단결정 실리콘 웨이퍼를 어닐링한 후 체인 컨베이어 방식으로 단면 PSG를 제거한 후 트로프 방식으로 화학적 부식을 통해 도금 및 PSG&BSG를 제거하고 효율적인 세척 및 건조 처리를 수행합니다.

1. 182 전송 6+6 및 210 전송 5+5 호환 구조 설계 채택, 높은 설비 안정성 및 적은 간섭과 변형 확보, 유지보수 펀리;
2. 맞춤형 식각 트로프에 액체 롤러 설치, 깨끗한 제거 효과, 과도 식각 감소;
3. 담금 + 스프레이 + 순수 스프레이의 물세척 방식으로 깨끗한 세척 보장;
4. 생산 능력: ≥ 9600pcs/h, 10채널 400pcs/탱크, ≥11000pcs/h, 10채널 464pcs/탱크, 210&182와 호환 가능;