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인라인 확산/어닐링 자동 로더 언로더는 확산 전의 실리콘 웨이퍼를 웨이퍼 캐리어에서 석영 보트에 자동 배치한 후 확산로로 자동 이송하며, 실리콘 웨이퍼가 확산된 후 확산된 실리콘 웨이퍼를 석영보트에서 웨이퍼 캐리어에 자동으로 배치하는 설비입니다.

1. 속도: 12000pcs/h;
2. 매우 낮은 파손률: ≤ 0.02%;
3. 흡입 컵 자국, 브래킷 자국 등 종합 NG율: ≤ 0.02%;
4. 각형 보트 및 능형 보트 호환;
5. 2.38~3.15mm의 서로 다른 피치 사양의 석영 보트 적용;