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인라인 튜브식 PECVD 로딩/언로딩기는 실리콘 웨이퍼를 웨이퍼 캐리어에서 PECVD 흑연 보트로, 또는 PECVD 흑연 보트에서 실리콘 웨이퍼 캐리어로 자동 적재하는 설비입니다.

1. 속도: 6000pcs/h;
2. 매우 낮은 파손률: ≤0.03%;
3. PL 스테이션 미리 남겨두어 에어리어 스캔 및 라인 스캔 AOI 카메라와 호환 가능;
4. Softtouch 다자인 컨셉으로 실리콘 웨이퍼 파편률 낮춤;