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실리콘 웨이퍼를 웨이퍼 컨테이너에서 에칭 세척기에 자동으로 배치하는 설비이며, 고객의 다양한 요구에 따라 설비를 맞춤화하여 고객 주설비와의 완벽한 연결을 달성할 수 있습니다.

1. 속도: 5500&11000psc/h, 고객 요구에 따라 설비 맞춤 제작 가능;
2. 매우 낮은 파손률: ≤0.2%;
3. 다양한 연결 방식: 에칭기 별도로 배치 가능, 또는 가타 공정 설비 배치 가능;