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用于对N型单晶硅太阳能电池用硅片退火后，通过链式传送方式去除单面PSG后再通过槽式方式进行化学腐蚀去绕镀及PSG&BSG并进行高效清洗、烘干处理。

1.采用182传动6+6和210传动5+5兼容结构设计，提高设备稳定性，扰动和变形小，维护方便;
2.定制刻蚀槽带液滚轮，去除干净、减少过刻;
3.水洗采用浸泡+喷淋+纯水喷淋方式，清洗干净;
4.产能:≥9600片/小时，10道400pcs/槽；≥11000片/小时，10道464pcs/槽，兼容210&182;